活性炭吸附塔的影響要素有哪些？

現在行業中多選用活性炭吸附的辦法進行氫氣凈化，活性炭吸附塔的吸附作用和處理才能也就成為了影響多晶硅質量與產量的關鍵要素。

1、干法尾氣收回工藝流程

干法尾氣收回系統有四級冷凝、緊縮、吸收、解析、吸附、   氣收回等單元操作。四級冷凝將復原尾氣中很多的氯硅烷冷凝成液體被別離，收回的液體將用泵送人解析塔以解分出HCI。緊縮將經過四級冷卻的氣體由0.35MPa提壓至1.2MPa。然后進人吸收塔用-40℃的氯硅烷液體吸收HCI，***約99.8%的HCI被吸收，吸收HCI的液體和四級冷卻出的液體在解析塔中蒸餾出HCI，***約收回的HCI從解析塔的***部以-40℃液體形狀流出。塔底氯硅烷進人精餾別離出TCS進人復原爐再運用。經過吸收塔噴淋后的氫氣，還含有氯化氫、二氯二氫硅、三氯氫硅、四氯化硅以及硼和磷等物質，經過活性炭吸附凈化后進人復原爐收回運用。

2、活性炭吸附塔的吸附原理

活性炭是一種多孔性的含炭物質，它具有高度發達的孔隙構造，活性炭的多孔結構為其供給了很多的表面積，能與氣體(雜質)充沛觸摸，然后賦予了活性炭所***有的吸附功能，使其非常容易到達吸收收集雜質的意圖。就象磁力相同，一切的分子之間都具有相互引力。正因為如此，活性炭孔壁上的很多的分子可以產生引力，然后到達將的雜質吸引到孔徑中的意圖。

多晶硅出產中，活性炭吸附塔運用了活性炭的物理吸附原理，將氫氣中氯化氫、氯硅烷及少數的雜質吸附至活性炭的微孔內，已到達除雜的意圖。并且這種吸附是   可逆的，雜質從活性炭微孔內脫附出來的進程，稱為   進程。吸附塔在高壓常溫下吸附，在常壓高溫下完結脫附   ，三個吸附柱替換進行上述進程，完結一個吸附周期，實現氫氣的連續純化，滿足要求的氫氣。

3、活性炭吸附塔的影響要素

活性炭在運用   的時刻后，需要進行加熱   ，將吸附的物料脫附出來，并用潔凈的氫氣吹掃帶出。此進程需要在規則的時刻周期內完結，同樣活性炭吸附塔也需在規則的時刻內被加熱到   所需溫度。經過活性炭吸附塔氫氣量越***，帶人氯化氫、氯硅烷物料多，脫附時所需熱量越多，活性炭吸附塔的升溫越慢，在規則的時刻內難以到達   的溫度，影響   作用。   作用不佳，直接影響吸附塔的吸附作用及處理才能。影響   溫度的要素如下：

(l)活性炭傳熱系數影響

活性炭因廠家、類型不同而存在差異，其導熱系數一般介于0.17~0.28W/m·k之間，傳熱功能差，致使   時熱介質所供給的熱量不能被充沛吸收，加熱速率較慢。收購時，盡可能挑選質量***、功能***的活性炭，根據處理量計算出對應的活性炭裝填量，并適當放余量。

(2)活性炭吸附塔規劃換熱面積缺乏

吸附塔規劃中換熱面積缺乏，影響   時的加熱溫度，進而影響   作用；主要表現在熱介質溫度足夠高，而其進出吸附柱的溫差較小時。總結剖分出產數據發現，可以經過   范圍內提高熱介質的溫度和流量來適當補償換熱面積缺乏的問題。

吸附塔處理的氫氣量為15000Nm3/h，熱介質對應溫度為180℃的前提下，熱介質流量變化與到達   溫度所需時刻。

(3)前端吸收塔吸收液組分的影響

氫氣中夾藏的氯化氫、氯硅烷主要被吸附柱在吸附柱下部，   脫附時需要吸收很多的熱量，脫附吸熱基本同于汽化熱，遠遠***于比熱。   進程中氯硅烷脫附所需熱量遠***于溫升所需熱量。

出產證明，活性炭吸附柱處理復原尾氣的才能遠遠小于處理氫化尾氣的量。主要原因在于，氫化尾氣處理系統中，氫氣進人活性炭吸附柱前，在吸收塔用氯硅烷進行噴淋時，氯硅烷中的四氯化硅含量居高，揮發度小，氫氣中夾藏進人活性炭吸附塔的氯硅烷質量也相應較小，活性炭   時易加熱，   充沛，處理才能也較***。而處理復原尾氣時，吸收塔的氯硅烷噴淋液中三氯氫硅、二氯二氫硅比重***，氫氣中夾藏多，形成活性炭   時加熱速率慢，在規則的時刻內難以完結   進程，為氫氣吸附作用，只能降吸附塔的處理量，形成處理才能下降。經過出產發現，復原尾氣吸附塔中氫氣夾藏氯硅烷的量較氫化尾氣高百分之六十，而對應吸附塔的處理才能較氫化尾氣下降百分之四十。

4、活性炭吸附塔超負荷運轉對產品質量的影響

當吸附柱長時間處于飽滿狀態下作業時，會使吸附柱的吸附才能下降，致使HCI對活性碳中的一些雜質，如磷、硼、碳等元素分出，并經過氫氣一并帶人復原出產系統中。一起經過出產數據剖析證明，活性炭吸附塔的負荷較小，處理量在滿負荷的百分之八十以下時，氫氣處理量與多晶硅產品中的雜質含量是沒有相關性的；當活性炭吸附塔處理量過***，影響   作用時，氫氣處理量與多晶硅產品中的雜質呈現明顯相關性。進一步證明活性炭吸附塔有吸附氫氣中雜質的才能，超負荷運轉直接影響多晶硅產品質量。

活性炭收購時，挑選合適廠家及類型的活性炭，吸附功能；活性炭吸附塔在規劃階段，為   作用，應考慮適當增***活性炭吸附塔換熱面積，提高熱介質溫度；尾氣收回中，在吸收塔噴淋環節進量下降吸收液中的輕組分雜質含量，較少吸附塔氯硅烷的帶人量；當復原尾氣中的氫氣處量過***時，應添加吸附裝置，防止影響多晶硅產品質量。